光氧催化净化器的工作机理是采用微波场激发无极灯，从而产生高强的紫外线，这种紫外线是目前工业UV/O3紫外灯中剂量和能量大的紫外线，它可以在短的时间内裂解硫化氢，氨气等键能小于880kJ/mol的分子键。一般情况下，光解的时间是大于1秒的，无极灯紫外线同样能裂解自然界中相对比较稳定的氮氮叁键。无极灯紫外线光解氧气产生臭氧，臭氧能快速氧化金属性较强的污染物，臭氧量可根据污染物的浓度以及后续反应时间设定。
光氧催化净化器具有运行成本低、耗电功率小，维护方便、使用寿命长，安全可靠，价格合理，净化效率高、运行稳定，结构紧凑、新颖、体积小、重量轻、模块化结构设计，噪声小于45db(A)、风阻小于300Pa等优点。
光氧催化净化器无极灯的使用寿命可以达到5000小时，它是没有电极的。我们完全不用考虑由于电极氧化锡老化导致的安全性问题，这也在很大程度上提高了紫外灯的使用寿命，也克服了光氧催化净化器加工中电极绝缘和密封所带来的结构问题。我们可以随意改变无电极的形状和放置位置，从而满足废气净化工程的调试需要，从而避免设备结构固定造成的机械破坏。微波场的热效应不仅可以提高系统的氧化速度，还可以促进光解作用。虽然，微波场不能使分子离子化，但它可以以亿倍的速度提高离子化的分子的运动速度，极大提升光子的撞击能量，达到雪崩式裂解污染物的作用。